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AIN SiC Si3N4 BN/PBN Al2O3 ZrO2 Metallized ceramic Porous Ceramic
AIN SiC Si3N4 BN/PBN Al2O3 ZrO2
Metallized ceramic Porous ceramic
AlN
높은 열전도도, 고온에서의 고강도 유지, 고절연성,
낮은 유전계수와 손실률, 내 열충격성, 플라즈마에 대한 내성이 뛰어남
고온 고전압 고압 환경에서 사용되는 다양한 부품에 적용
OLED, 각종 display 제조장비내 각종 소모품, 부품
AlN 히터, 산소 센서, heat sink, heat spreader
Metallized AlN, 고온에서 사용되는 반도체용 기판
SiC 계열
화학적 내식성이 매우 강하고 고온에서의 기게적 강도가
안정적으로 유지되는 특성
- SiSiC(반응소결) : 고온 전기로의 노즐 및 각종 내화구조물
- SSiC(상업소결) : 성형 사출물
- RSiC : 반도체 디스플레이 공정장비내 부품, 다공성 세라믹
반도체 공정장비내 부품, 각종 지그
다공성 세라믹의 대표적인 소재
가스켓 롤러와 부싱, 각종 지그,
디스크, 블록, 판으로 제작
Si3N4
세라믹이 가지는 모든 장점을 가짐
고온 분위기에서의 내마모성
강한 열충격에 버티는 성질
낮은 비중, 높은 절연성이 특징
내마모성, 기계적 강도가 높음
피로파괴에도 강한 성질
적절히 가공시 표면의 결함등이 매우 적은 장점이 있음
반도체 디스플레이 공정장비내 각종 부품, 소모품
소각로, 분말제조장비의 노즐
전기분해장치용 도가니
공업용 베어링, 고온 열처리로에 사용되는 각종 롤러
세라믹 히터, metalized Si3N4는 다양한 용도로 사용
BN - PBN
내열특성이 뛰어나서 고온에서의 기계적 강도, 낮은 열팽창율이 돋보임
금속주조시 도가니와 주조금형으로 사용
전기절연성이 높고 가공성이 좋아서 복잡한 구조의 절연제품의 가공이 가능함
초고온 열처리로 내 각종 구조물 세라믹 소결장비와
반도체 제조장비내 고열환경 속에서의 각종 부품으로 사용
특히 질화 세라믹의 소결로에서 필수적인 용도로 사용됨
각종 코팅장비용 PBN 도가니로 사용
Al2O3
가공성이 좋고 열충격에 강한 특성
고온에서의 기계적 특성, 내마모성이 우수하고 열전도도가 높음
알칼리내에서의 내부식성이 뛰어남
가공성이 좋아 정밀한 모양의 제품도 생산 가능
가장 많이 사용되는 세라믹 소재중에 하나
반도체, 디스플레이 제조 장비내 소모품, 지그, 치구 구조물
세라믹, 금속의 정밀가공 장비내 각종 파츠 다양한 산업분야에서 전반적으로 사용
ZrO2
고온에서의 기계적 특성, 내마모성, 내부식성, 피로파괴에 대한 저항성등이 탁월
타 세라믹보다 강도가 강하며 열차단 효과가 강함
특히 일반 강철과 비슷한 열팽창율로 인하여 제철, 제강 장비내의 다양한 소모품, 구조물, 부품으로 사용됨
초고온, 초고압하에 사용되는 베어링 볼,
샤프트 강한 내식성이 요구되는 절삭공구 등에 사용
노즐, 각종 치구, 공부 등 적용의 범위가 크다
Metallized ceramic
AlN, Al2O3, Si3N4 등의 소재 표면에 메탈을 코팅하고 여기에 Ni, Cu, Au 등을
용도에 맞게 도금, 증착하여 부품을 가공
X-ray 장비용 진공절연튜브 고전압 고진공, 고압하에서 강한 내구성이 요구되는
전기적 특성의 부품에 적용
세라믹 점화기(ignitor), 전기차 배터리의 전극부품 각종 전기부품에 다양하게 적용
Porous ceramic
진공척, 고온열처리로의 버너부품, 마이크로 버블 디퓨저등에 적용
각종 유체, 개스등에 사용되는 필터로 사용되기 때문에 매우 높은 내식성
내화학성이 요구됨. 뿐만 아니라 기계적 강도도 우수하며 내마모성,
내부식성등이 고온에서도 유지되는 특성을 가져야 함.
기공의 사이즈와 모양의 균일도가 좋을수록 높은 품질과 가격의 제품군을 만듬
세라믹진공척(Ceramic Vacuum Chucks)
세라믹필터(Ceramic Filters)
세라믹디퓨저(Ceramic Diffusers)
세라믹에어베어링(Ceramic Air Bearings)
세라믹침투성기판(Ceramic Permeable Substrates)
세라믹분산매(Ceramic Dispersion Media)
세라믹재처리(Ceramic Ash Handling)
세라믹위킹미디어(Ceramic Wicking Media)
세라믹유동층판(Ceramic Fluidized Bed Plates)
세라믹다공분산관(Ceramic Specialty Spargers)
세라믹브리더-통풍구(Ceramic Breathers-Vents)
세라믹촉매지지체(Ceramic Catalyst support)
