SiC 계열

화학적 내식성이 매우 강하고 고온에서의 기게적 강도가
안정적으로 유지되는 특성이 있습니다.

• SiSiC (반응소결 SiC) : 고온 전기로의 노즐 및 각종 내화구조물
• SSiC (상업소결 SiC) : 성형 사출물
• RSiC (재결정화 소결 SiC) : 반도체 디스플레이 공정장비내 부품, 다공성 세라믹
• NSiC (N-타입 SiC 기판) : 반도체 기판

반도체 공정장비내 부품, 각종 지그
다공성 세라믹의 대표적인 소재
가스켓 롤러와 부싱, 각종 지그,
디스크, 블록, 판으로 제작

BN - PBN

내열특성이 뛰어나서 고온에서의 기계적 강도, 낮은 열팽창율이 돋보이고
금속주조시 도가니와 주조금형으로도 사용합니다.
전기절연성이 높고 가공성이 좋아서 복잡한 구조의 절연제품의 가공이 가능합니다.

초고온 열처리로 내 각종 구조물 세라믹 소결장비와
반도체 제조장비내 고열환경 속에서의 각종 부품으로 사용합니다.
특히 질화 세라믹의 소결로에서 필수적인 용도로 사용됩니다.
각종 코팅장비용 PBN 도가니로도 사용됩니다.

ZrO2

고온에서의 기계적 특성, 내마모성, 내부식성, 피로파괴에
대한 저항성등이 탁월하고 타 세라믹보다 강도가 강하며
열차단 효과가 강합니다.
특히 일반 강철과 비슷한 열팽창율로 인하여 제철, 제강
장비내의 다양한 소모품, 구조물, 부품으로 사용됩니다.

초고온, 초고압하에 사용되는 베어링 볼,
샤프트 강한 내식성이 요구되는 절삭공구 등에 사용하고,
노즐, 각종 치구, 공부 등 적용의 범위가 큽니다.

Porous ceramic

진공척, 고온열처리로의 버너부품, 마이크로 버블 디퓨저등에 적용하고
각종 유체, 개스등에 사용되는 필터로 사용되기 때문에 매우 높은 내식성
내화학성이 요구됩니다. 뿐만 아니라 기계적 강도도 우수하며 내마모성,
내부식성등이 고온에서도 유지되는 특성을 가져야 합니다.
기공의 사이즈와 모양의 균일도가 좋을수록 높은 품질과 가격의 제품군을 만듭니다.

• 세라믹진공척(Ceramic Vacuum Chucks)
• 세라믹필터(Ceramic Filters)
• 세라믹디퓨저(Ceramic Diffusers)
• 세라믹에어베어링(Ceramic Air Bearings)
• 세라믹침투성기판(Ceramic Permeable Substrates)
• 세라믹분산매(Ceramic Dispersion Media)
• 세라믹재처리(Ceramic Ash Handling)
• 세라믹위킹미디어(Ceramic Wicking Media)
• 세라믹유동층판(Ceramic Fluidized Bed Plates)
• 세라믹다공분산관(Ceramic Specialty Spargers)
• 세라믹브리더-통풍구(Ceramic Breathers-Vents)
• 세라믹촉매지지체(Ceramic Catalyst support)